Schermo in vetro quarzo per lampada da fabbrica

Mon, 01 Jun 2026 20:26:30 +0800

Sulla linea di produzione, la ripetibilità della cottura del fotoresist è semplicemente un requisito fondamentale. Una deriva di 2°C durante la soft bake o la hard bake riduce rapidamente il budget delle dimensioni critiche—e si sa cosa significa: resa in calo. La protezione in quarzo sul vetro delle lampade del fab è presente per mantenere il campo termico costante esattamente dove il wafer incontra il fotoresist.

Cosa conta sotto la superficie
Utilizziamo quarzo ad alta purezza perché trasmette energia a onde corte e medie con assorbimento minimo, mantenendo così stabile l’output della lampada e la sua stabilità spettrale nei parametri richiesti. L’uniformità termica su tutto il wafer si mantiene entro ±0.1°C, che è il riferimento per un flusso costante del fotoresist e una rimozione pulita del solvente. Il materiale è compatibile con le classi di cleanroom 1–100, e il design evita la generazione di particelle durante il funzionamento—mantenendo quindi pulito lo stack di fotolitografia. Si ottiene affidabilità 24/7 senza fermi non programmati, oltre a una lunga durata operativa e output stabile per migliaia di ore.

Scudo on Factory Direct Infrared Heating

Schermo in vetro quarzo per lampada da fabbrica