Nella sala di produzione, un aumento di temperatura di soli 2°C può modificare il profilo di essiccazione del fotoreattivo. Un riscaldamento eccessivo alle estremità può invece causare la formazione di depositi indesiderati. Un asciugatore a infrarossi per IC non è semplicemente un accessorio utile: rappresenta infatti un elemento fondamentale per garantire la ripetibilità dei processi di litografia e confezionamento. Abbiamo progettato questo dispositivo per assicurare una ripetibilità termica elevata nei processi di produzione, poiché in questo settore ogni singola wafer è estremamente importante.
Cosa è davvero importante Utilizziamo emettitori a luce infrarossa vicina (NIR), progettati per fornire un riscaldamento rapido e uniforme, con bassa inerzia termica. L’uniformità della temperatura sulla superficie della wafer rimane entro ±0,1°C, mentre la ripetibilità del valore di temperatura di riferimento è di ±0,5°C. In questo modo, i profili di essiccazione del fotoreattivo rimangono costanti da un lotto all’altro. Il dispositivo è adatto per essere utilizzato in ambienti puliti di Classe 1–100, grazie a un sistema di aria pulita e priva di particelle. È progettato per funzionare 24/7, con un tempo medio tra guasti superiore a 20.000 ore, senza interruzioni impreviste. Le dimensioni del dispositivo sono ridotte: 300 mm × 200 mm × 150 mm. Funziona con alimentazione a 24 VDC o 48 VDC, con connettori standard per essere integrato nelle linee di produzione esistenti.
Ecco perché funziona bene nelle linee di produzione: serve un calore che agisca rapidamente, senza causare sovraccarichi termici. La luce infrarossa permette un riscaldamento rapido, con un controllo preciso del processo. In questo modo, il tempo di essiccazione diminuisce e la produttività aumenta. Inoltre, il consumo energetico diminuisce, poiché l’emittente riscalda direttamente la wafer e il substrato, evitando così di riscaldare le pareti della camera di processo. Nel caso del fotoreattivo, ciò significa un controllo più preciso delle dimensioni critiche e meno lavorazioni di correzione. Nella fase di confezionamento, l’asciugatore elimina l’eccesso di umidità senza causare deformazioni. La compatibilità con gli ambienti puliti garantisce un basso numero di particelle nell’aria, proprio come richiesto dai processi di produzione avanzati.
Alcune note pratiche Il dispositivo richiede un’alimentazione stabile e filtrata, oltre a un flusso d’aria pulito e secco, per mantenere pulita la finestra ottica. Il tempo di riscaldamento è breve, ma il processo di essiccazione deve iniziare solo dopo 10 minuti di stabilizzazione. Nonostante le sue dimensioni ridotte, è comunque necessario lasciare spazio intorno all’emittente per motivi di sicurezza e per garantire una corretta funzionamento. È importante abbinare lo spettro di emissione dell’emittente al tipo di fotoreattivo e al substrato utilizzati. Il nostro team di specialisti può aiutarvi a configurare il dispositivo in base alle vostre esigenze.