http://infrared-heat-direct.com/id/tags/litografi/ Recent content in Litografi on Factory Direct Infrared Heating Hugo id Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/id/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/id/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Bola lampu pemanas litografi Canon"></p> <p>Pada lantai litografi, Anda tahu bagaimana keadaannya. Soft bake yang bergeser bahkan setengah derajat saja mengubah latitude eksposur Anda, lalu hard bake mulai mengendapkan kotoran ke dalam garis. Anda mengejar fokus, mengatur dosis, dan tetap saja menghadapi kesalahan penempatan tepi yang langsung berhubungan dengan langkah termal. Oven stabil. Hot plate stabil. Bottleneck-nya adalah bola lampu di dalam modul pemanas litografi Canon.</p> <p><strong>Apa yang penting, secara teknis</strong><br> Kami membangun bola lampu pemanas litografi Canon menggunakan emitter halogen inframerah gelombang pendek (SWIR) dalam selubung kuarsa, yang diatur untuk pemanasan radiasi langsung yang cepat dengan respons di bawah satu detik. Anda mendapatkan keseragaman termal tingkat wafer dalam ±0,1°C di seluruh permukaan bake, dan pengulangan suhu yang tetap ketat melalui ribuan wafer. Geometri filamen dan jalur reflektor disesuaikan dengan rongga pemanas, sehingga photoresist menerima anggaran termal yang dapat diulang—tanpa titik panas di tepi.</p>