http://infrared-heat-direct.com/hi/tags/%E0%A4%B9%E0%A5%88%E0%A4%B2%E0%A5%8B%E0%A4%9C%E0%A4%A8/ Recent content in हैलोजन on Factory Direct Infrared Heating Hugo hi Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/hi/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/hi/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="RTP सिस्टम के लिए हैलोजन लैंप"></p> <p>फैब्रिकेशन लेवल पर, तापमान में होने वाले परिवर्तन को नजरअंदाज नहीं किया जा सकता। फोटोरेजिस्ट को “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” करते समय 5°C का परिवर्तन भी लाइनविड्थ नियंत्रण को बिगाड़ सकता है; जबकि RTP में होने वाले असमान तापमान परिवर्तन जंक्शनों की संरचना को नष्ट कर सकते हैं। हमने RTP के लिए ऐसी हैलोजन लैंपें विकसित की हैं, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।</p> <p><strong>वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?</strong><br> इन लैंपों में क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव हैलोजन एमिटरों का उपयोग किया गया है; इससे त्वरित एवं कुशल तापन होता है। महत्वपूर्ण बात यह है कि वेफर पर तापमान में ±0.1°C का ही परिवर्तन होना चाहिए – यह मापन सीधे ही किया जाता है, अनुमान से नहीं। क्लीनरूम के नियमों का भी ध्यान रखा गया है – क्लास 1–100 के अनुरूप सामग्रियों का उपयोग किया गया है, इंटरफेसेस सील्ड हैं, एवं गैस निकलने की समस्याओं से बचा गया है। इसका परिणाम यह है कि कोई कण उत्पन्न नहीं होता, इसलिए थर्मल साइकलिंग के कारण उत्पादन में कोई कमी नहीं आती।</p>