http://infrared-heat-direct.com/he/tags/module/ Recent content in Module on Factory Direct Infrared Heating Hugo he Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/he/posts/wafer-drying-module-200mm/ Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/he/posts/wafer-drying-module-200mm/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="מודול ייבוש שבבים – 200 ממ"></p> <p>בליניה של 200 ממ, שלב אחד של ייבוש לא נכון יכול לפגוע קשות באיכות התוצר. המים שנשארים לאחר הניקוי יוצרים “סימני מים” על הפוטורזיסט, וכתוצאה מכך, השלבים של ייבוש לא נעשים באופן אחיד, מה שפוגע בשליטה בממדים החשובים של המוצר. לא ניתן לפתור בעיה זו על ידי שינויים קטנים בהגדרות המכונה – מה שנחוץ הוא מודול ייבוש שיפעל באופן אחיד, משלב לשלב.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> מודול הייבוש שלנו לוופרים בגודל 200 ממ מבוסס על שליטה תרמית מדויקת ועל שליטה בזיהום. האחידות בטמפרטורה על פני הוופר נשמרת ברמה של ±0.1°C, כך שהשלבים של ייבוש יהיו אחידים מלוט ללוט. המערכת מתאימה לחדרים נקיים מסוג 1–100, והיא מותאמת כך שלא ייווצרו חלקיקים כלל, מה שתומך בשליטה הקפדנית במספר החלקיקים שמותרים בתהליך הליתוגרפיה. בפעולה 24/7, המערכת מיועדת לפעול ללא הפסקות, ותוחלת החיים שלה היא עשרות אלפי שעות. החזרתיות של המערכת אינה נושא לדיון – זו הרמה הבסיסית.</p> http://infrared-heat-direct.com/he/posts/zoned-infrared-heating-module/ Tue, 23 Jun 2026 00:11:52 +0800 http://infrared-heat-direct.com/he/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="מודול חימום באינפרא אדום בעל אזורי חימום מוגדרים"></p> <p>בחדר הייצור, כמו שאתם יודעים, יש דרישות קפדניות: שינוי של 0.2°C בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לכך שהתכונות של החומר הפוטורזיסטיבי יצאו מהטווח המותר, והחומר יהפוך לבלתי תקין. המערכות הרגילות לחימום מתמודדות עם בעיות של אי-אחידות בטמפרטורה ברחבי הוופר, ולכן יש צורך בשליטה קפדנית יותר. אנו פיתחנו מודול חימום באינפרא-אדום שמאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה – דווקא באזורים החשובים ביותר של הוופר.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> חימום באינפרא-אדום בגלים קצרים, עם שליטה אוטונומית בכל אזור, מאפשר אחידות של ±0.1°C בטמפרטורה על פני הוופר. הטמפרטורה מגיעה לרמה הרצויה תוך שניות בודדות, כך שזמן החימום קצר יותר, וניתן לשלוט בתהליך בצורה טובה יותר. המודול יכול לפעול בחדרי ניקיון מדרגה 1–100, ללא יצירת חלקיקים, וזאת בזכות מעקב בזמן אמת ועיצוב שמפחית את פליטת הגזים. זמן הפעולה הוא 24/7, ושעות העבודה של המודול תואמות את הציפיות שיש לנו מציוד לייצור שבבים.</p>