http://infrared-heat-direct.com/he/tags/200-%D7%9E%D7%9E/ Recent content in 200 ממ on Factory Direct Infrared Heating Hugo he Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/he/posts/wafer-drying-module-200mm/ Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/he/posts/wafer-drying-module-200mm/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="מודול ייבוש שבבים – 200 ממ"></p> <p>בליניה של 200 ממ, שלב אחד של ייבוש לא נכון יכול לפגוע קשות באיכות התוצר. המים שנשארים לאחר הניקוי יוצרים “סימני מים” על הפוטורזיסט, וכתוצאה מכך, השלבים של ייבוש לא נעשים באופן אחיד, מה שפוגע בשליטה בממדים החשובים של המוצר. לא ניתן לפתור בעיה זו על ידי שינויים קטנים בהגדרות המכונה – מה שנחוץ הוא מודול ייבוש שיפעל באופן אחיד, משלב לשלב.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> מודול הייבוש שלנו לוופרים בגודל 200 ממ מבוסס על שליטה תרמית מדויקת ועל שליטה בזיהום. האחידות בטמפרטורה על פני הוופר נשמרת ברמה של ±0.1°C, כך שהשלבים של ייבוש יהיו אחידים מלוט ללוט. המערכת מתאימה לחדרים נקיים מסוג 1–100, והיא מותאמת כך שלא ייווצרו חלקיקים כלל, מה שתומך בשליטה הקפדנית במספר החלקיקים שמותרים בתהליך הליתוגרפיה. בפעולה 24/7, המערכת מיועדת לפעול ללא הפסקות, ותוחלת החיים שלה היא עשרות אלפי שעות. החזרתיות של המערכת אינה נושא לדיון – זו הרמה הבסיסית.</p>