http://infrared-heat-direct.com/he/tags/%D7%94%D7%9C%D7%95%D7%92%D7%9F/ Recent content in הלוגן on Factory Direct Infrared Heating Hugo he Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/he/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/he/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מנורת הלוגן למערכת RTP"></p> <p>בחדרי הייצור, שינויי טמפרטורה אינם עניין של מה בכך. שינוי של 5°C במהלך תהליכי חימום הפוטורזיסט עלול לפגוע בשליטה בעובי הקווים, ועלייה לא אחידה בטמפרטורה עלולה לפגוע באיכות החיבורים בין החומרים השונים. פיתחנו את הנורות ההלוגניות שלנו כך שהן יפחיתו את השינויים האלו.</p> <p><strong>מה באמת חשוב</strong><br> נורות אלו משתמשות בגופי פליטה הלוגניים בעלי גל אור קצר, הממוקמים במעטפת קוורץ. כך ניתן להשיג חימום מהיר ויעיל, עם תגובה בתוך שניות בודדות. המדד החשוב הוא האחידות התרמית – ערך של ±0.1°C על פני כל הוואפר, במדידה במקום – ולא על סמך הערכות. התאמה לחדרי ייצור נקיים גם היא חלק מהעיצוב של הנורות: שימוש בחומרים שעומדים בתקני Class 1–100, אינטרפייסים סגורים, ומבנה שמונע פליטת גזים. התוצאה היא אין ייצור של חלקיקים, כך שהאיכות של המוצרים לא נפגעת כתוצאה משינויי הטמפרטורה.</p>