Module de séchage de wafer 200 mm

Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800

Sur une ligne de production de 200 mm, une seule étape de séchage insuffisante peut entraîner une perte significative de rendement. L’eau restée après le nettoyage se manifeste sous forme de taches sur le photorésistant ; de plus, les températures élevées durant le séchage perturbent le contrôle des dimensions critiques. On ne peut pas compenser cela par de simples ajustements de la part de l’opérateur – ce dont on a besoin, c’est d’un module de séchage qui fonctionne de manière fiable, étape après étape.

Module de chauffage infrarouge à zones

Tue, 23 Jun 2026 00:11:51 +0800

Sur le site de fabrication, on connaît bien les règles : une variation de 0,2 °C dans la température de cuisson suffit pour que le profil du photorésistant ne respecte plus les spécifications prévues, ce qui entraîne des déchets. Les plaques de chauffage conventionnelles ne permettent pas de contrôler efficacement les variations de température aux bords de la puce ou sur toute sa surface, ce qui oblige à resserrer les limites de contrôle et à gérer ces écarts. Nous avons donc conçu un module de chauffage par infrarouges zoné, afin d’éliminer ces variations là où c’est important : directement sur la puce.

Module on Factory Direct Infrared Heating

Module de séchage de wafer 200 mm

Module de chauffage infrarouge à zones