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		<title>300 Mm on Factory Direct Infrared Heating</title>
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				<title>Lampe de séchage de wafer 300 mm</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://infrared-heat-direct.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png&#34; alt=&#34;Lampe de séchage de wafer 300 mm&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Sur la ligne de production de 300 mm, le séchoir n’est pas un accessoire optionnel : c’est plutôt le dernier étape de traitement thermique avant que les wafers ne sortent de l’usine. Quelques degrés d’inhomégenité pendant le séchage du photorésistant, ou encore des particules émises par une lampe vieillissante, suffisent pour que le processus de lithographie devienne inefficace. Nous avons conçu notre lampe de séchage en tenant compte d’un critère essentiel : maintenir la température du wafer à ±0,1 °C, sans introduire de contamination.&lt;/p&gt;</description>
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