Réduire les émissions de carbone dans les usines de semi-conducteurs : pourquoi le boîtier est si important
Toutes les usines de semi-conducteurs sont actuellement soumises à une forte pression pour atteindre leurs objectifs de zéro émission nette. C’est une pression considérable. L’une des solutions les plus rapides consiste à remplacer ces anciens chauffages résistifs par des systèmes infrarouges spécialisés.
Mais voilà le problème : les lampes infrarouges sophistiquées ne suffisent pas. Si le boîtier en acier inoxydable dans lequel elles se trouvent n’est pas bien conçu, c’est de l’énergie gaspillée.
Ce n’est pas seulement un support
Il faut considérer le boîtier comme un outil permettant de gérer la chaleur, et non simplement comme un morceau de métal qui contient la lampe. Nous utilisons de l’acier inoxydable de haute qualité, car les chambres propres exigent des matériaux résistants à l’oxydation. Il ne faut absolument pas que des particules de métal endommagent les wafer. De plus, si la chaleur n’est pas répartie uniformément, les wafer se déforment. C’est un cauchemar que personne ne veut vivre.
Nous façonnons donc le boîtier de manière à ce qu’il reflète les rayons infrarouges vers la cible. Ainsi, la chaleur reste là où elle doit être, sans s’échapper dans le reste de la machine. Lorsque le reflet est optimisé, il est possible de réduire la puissance utilisée tout en continuant à atteindre la température souhaitée. Moins d’énergie, même résultat. C’est ainsi que l’on peut réduire la consommation d’énergie par wafer.
Les compromis (et pourquoi c’est rentable)
L’acier inoxydable ne transfère pas la chaleur aussi rapidement que l’aluminium. C’est volontaire. Nous ne voulons pas que la chaleur s’infiltre dans la structure de la machine ; nous voulons qu’elle reste sur les wafer. Bien sûr, il faut un peu plus de temps pour que la chaleur atteigne sa température idéale. Mais une fois atteinte, elle y reste. Cela crée une masse thermique stable. En d’autres termes, les contrôleurs PID n’ont pas besoin de chercher constamment la bonne température – ce qui reviendrait à gaspiller de l’énergie. Tout est donc plus stable.
En résumé, pour vos indicateurs écologiques
Le avantage des lampes infrarouges, c’est que vous chauffez uniquement la pièce concernée, et non toute la pièce. Vous évitez ainsi de gaspiller de l’énergie pour l’air autour de la machine. Lorsque vous combinez un boîtier en acier inoxydable finement conçu avec des lampes infrarouges à ondes courtes, le temps nécessaire pour atteindre la température souhaitée diminue considérablement. Vous pouvez ainsi traiter plus de wafer en moins de temps. C’est simple : moins de temps d’utilisation, moins d’émissions de carbone.