http://infrared-heat-direct.com/fa/tags/%D9%84%DB%8C%D8%AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C/ Recent content in لیتوگرافی on Factory Direct Infrared Heating Hugo fa Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/fa/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/fa/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="لامپ هیتر لیتوگرافی کانن"></p> <p>در بخش لیتوگرافی، می‌دانید که جریان کار چگونه است. یک پخت نرم که حتی نیم درجه تغییر کند، محدوده تابش شما را جابه‌جا می‌کند، و سپس پخت سخت شروع به ایجاد آلودگی در خطوط می‌کند. شما روی فوکوس کار می‌کنید، دُز را تنظیم می‌کنید، اما همچنان با خطاهای قرارگیری لبه مواجه هستید که مستقیماً به مرحله حرارتی بازمی‌گردند. کوره پایدار است. صفحه داغ پایدار است. گلوگاه، لامپ داخل ماژول هیتر لیتوگرافی <a href="https://o-yate.net">Canon</a> است.</p> <p><strong>از نظر فنی چه چیزی اهمیت دارد</strong><br> ما لامپ هیتر لیتوگرافی Canon را بر پایه یک تابش‌دهنده هالوژن مادون قرمز کوتاه‌موج (SWIR) در یک محفظه کوارتزی می‌سازیم که برای گرمایش تابشی مستقیم و سریع با پاسخ زیر ثانیه تنظیم شده است. یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در محدوده ±0.1°C در سراسر سطح پخت تضمین می‌شود و تکرارپذیری دما در هزاران ویفر ثابت باقی می‌ماند. هندسه فیلامنت و مسیر بازتابنده متناسب با محفظه هیتر طراحی شده‌اند تا رزین حساس به نور یک بودجه حرارتی تکرارشونده را دریافت کند—بدون نقطه داغ در لبه.</p>