خشک کردن on Factory Direct Infrared Heating

گرمکن خشککن ویفر حسگر MEMS

Thu, 23 Jul 2026 12:01:58 +0800

روش بهتری برای خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS
اگر تا به حال با ویفرهای سنسورهای MEMS سر و کار داشته‌اید، می‌دانید که این کار چقدر دشوار است. لازم است که آب از روی ویفرها در هر صورت حذف شود؛ اما نمی‌خواهیم که ردپاهای آب یا استرس حرارتی به وجود آید که باعث خراب شدن ویفرها شود.

برای مدت طولانی، از فرهای هوای گرم برای این کار استفاده می‌شد. اما راستش، این روش بی‌فایده است؛ چون برای خشک کردن چند ویفر، مجبوریم کل محفظه را گرم کنیم. این روش کند، پرهزینه است، و با اهداف «کارخانه‌های سبز» که امروزه در پی آن هستیم، سازگار نیست.

بازرسی مصرف انرژی برای خشککن کارخانه

Thu, 09 Jul 2026 04:00:09 +0800

ارزیابی مصرف انرژی در فرآیند خشک‌کردن: چرا استفاده از تابش مادون قرمز جهت‌دار راه‌حل بهتری است
بیایید درباره فرآیند خشک‌کردن در کارخانه‌های تولید صحبت کنیم. برای این کار، دقت بسیار مهم است. روش قدیمی، یعنی گرمایش تقریبی، باعث می‌شود کل محفظه، از جمله دیواره‌ها و قطعات اطراف، گرم شود. این روش مانند گرم کردن کل آشپزخانه برای تست نان است.
بنابراین، ما روش بهتری اختراع کردیم: استفاده از تابش مادون قرمز جهت‌دار.
هسته اصلی این سیستم، یک لامپ مادون قرمز با امواج کوتاه است؛ این لامپ گرما را دقیقاً در همان جایی که نیاز است، تولید می‌کند. دیگر هیچ انرژی هدر نمی‌رود و تجهیزات نیز نیازی به کار در دمای بالا ندارند. این روش، کار را به شکلی کارآمد و دقیق انجام می‌دهد.

لامپ خشککن ویفر ۳۰۰ میلیمتری

Fri, 03 Jul 2026 08:59:49 +0800

در خط تولید ۳۰۰ میلی‌متری، استفاده از دستگاه خشک‌کن ضروری است؛ زیرا این دستگاه آخرین مرحله کنترل حرارتی قبل از خروج محصول نهایی از خط تولید است. حتی کمی عدم یکنواختی در دمای حرارتی حین پخت رزیست، یا وجود ذرات ناشی از فرسودگی لامپ، می‌تواند باعث شود فرآیند لیتوگرافی به فاجعه تبدیل شود. ما لامپ خشک‌کن مورد استفاده در خط تولید خود را بر اساس یک الزام اساسی طراحی کرده‌ایم: نگه داشتن دمای سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد، بدون ایجاد هیچ نوع آلودگی.

ماژول خشککن وفر ۲۰۰ میلیمتر

Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800

در خطوط تولید ۲۰۰ میلی‌متری، یک مرحله خیس کردن ناخواسته می‌تواند باعث کاهش کیفیت محصول شود. آبی که پس از شستشو باقی می‌ماند، به صورت لکه‌هایی روی فوتورزیست ظاهر می‌شود؛ همچنین، حرارت ناشی از فرآیندهای خشک‌کردن، کنترل ابعاد مهم محصول را دچار اختلال می‌کند. نمی‌توان این مشکلات را با تنظیمات ساده توسط اپراتورها برطرف کرد؛ چیزی که لازم است، یک ماژول خشک‌کن است که در تمام شیفت‌ها عملکرد یکنواختی داشته باشد.

چه چیزهایی اهمیت دارد؟ ماژول خشک‌کن ویفرهای ۲۰۰ میلی‌متری ما، بر پایه کنترل دقیق دما و جلوگیری از آلودگی ساخته شده است. یکنواختی دما در سراسر ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد نگه داشته می‌شود؛ بنابراین، الگوهای خشک‌کردن یکنواخت باقی می‌مانند. این سیستم مناسب برای اتاق‌های پاکسازی در سطوح ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، طوری طراحی شده که هیچ ذره‌ای تولید نشود، و این امر به دستیابی به استانداردهای بالای مربوط به تعداد ذرات در فرآیند لیتوگرافی کمک می‌کند. در عملکرد ۲۴/۷، این سیستم به منظور جلوگیری از توقف‌های غیرمنتظره طراحی شده است؛ عمر مفید آن نیز ده‌ها هزار ساعت است. تکرارپذیری عملکرد، یک ویژگی اساسی این سیستم است.