در خط تولید، افزایش دما به میزان ۲ درجه سانتیگراد میتواند باعث تغییر در پروفایل حرارتی فوتورزیست شود. همچنین، گرمای بیش از حد در لبههای ویفر میتواند باعث ایجاد لکههایی روی سطح آن شود. استفاده از خشککنهای مادون قرمز برای تولید تراشهها، چیزی اختیاری نیست؛ بلکه یک عامل مهم در فرآیند تولید است. ما این دستگاه را طوری طراحی کردهایم که بتواند یکنواختی حرارتی را در خطوط لیتوگرافی و بستهبندی حفظ کند؛ زیرا در این صنعت، هر ویفر اهمیت زیادی دارد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از فرستندههای نور مادون قرمز برای گرم کردن سریع و یکنواخت ویفر استفاده میکنیم؛ در نتیجه، یکنواختی دما در سراسر ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. همچنین، تکرارپذیری دما نیز در محدوده ±۰٫۵ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین پروفایل حرارتی فوتورزیست در هر بار تولید یکسان خواهد بود. این خشککن مناسب اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، از سیستمهای کنترل ذرات و موادی بدون انتشار ذرات استفاده میکند. این دستگاه برای کار ۲۴ ساعته مناسب است؛ طول عمر آن بیش از ۲۰٬۰۰۰ ساعت است و هیچ توقف غیرمنتظرهای ندارد. ابعاد این دستگاه ۳۰۰ میلیمتر × ۲۰۰ میلیمتر × ۱۵۰ میلیمتر است؛ همچنین، از ولتاژ ۲۴ ولت DC یا ۴۸ ولت DC استفاده میکند و اتصالات استانداردی برای اتصال به سیستمهای موجود دارد.
چرا این دستگاه در خط تولید مؤثر است؟
شما به گرمایی نیاز دارید که به سرعت وضعیت مورد نظر را فراهم کند، بدون اینکه دما بیش از حد افزایش یابد. فرستندههای نور مادون قرمز این امکان را فراهم میکنند؛ بنابراین زمان گرم کردن کاهش یافته و بازدهی تولید افزایش مییابد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا نور مستقیماً به ویفر و سطح زیرین آن تابیده میشود، نه به دیوارههای محفظه. در فرآیند فوتورزیست، این امر منجر به کنترل بهتر ابعاد کلیدی و کاهش تعداد کارهای تکراری میشود. در فرآیند بستهبندی نیز، این دستگاه مواد اضافی را خشک کرده و رطوبت را از بین میبرد، بدون اینکه باعث تغییر شکل ویفر شود. همچنین، این دستگاه با اتاقهای تمیز سازگار است و تعداد ذرات را کاهش میدهد؛ که دقیقاً همان چیزی است که تراشههای پیشرفته نیاز دارند.
نکات عملی:
این خشککن به منبع تغذیه پایدار و فیلترشده، همچنین مسیر هوای تمیز و خشک نیاز دارد تا پنجرههای نوری آن کاملاً تمیز باقی بمانند. زمان گرم شدن دستگاه کوتاه است، اما گرم کردن ویفر باید پس از ۱۰ دقیقه شروع شود. این دستگاه کوچک است، اما همچنان نیاز به فضای کافی در اطراف منطقه فرستنده نور برای سیستمهای ایمنی و تخلیه هوا وجود دارد. طیف نور فرستنده را باید با فوتورزیست و سطح زیرین ویفر هماهنگ کرد؛ تیم کاربردی ما میتواند فرآیند تولید را برای خط تولید شما تنظیم کند.