Detener las partículas “fantasma” en su sala limpia
Mantener una sala limpia de clase 100 impecable no implica solo reemplazar los filtros de aire. Si has trabajado en el proceso de fabricación de semiconductores, sabes cuál es el verdadero problema: el propio elemento calefactor.
La mayoría de las lámparas infrarrojas convencionales son problemáticas: emiten gases o pequeñas partículas precisamente cuando uno no lo desea. Resolvimos este problema utilizando cuarzo sintético de alta pureza, recubierto con un revestimiento reflectante de oro.
Así funciona realmente:
Aplicamos una capa de oro en la parte posterior del tubo de cuarzo. No se trata de darle un aspecto elegante; esa capa de oro actúa como un espejo térmico, reflejando la radiación infrarroja hacia la oblea, en lugar de permitir que se desperdicie calentando el cuerpo de la lámpara.
El resultado es que la densidad de calor es mucho mayor donde realmente importa, y los extremos de la lámpara permanecen más fríos.
En cuanto al cuarzo, utilizamos material de alta pureza. Somos muy estrictos con las especificaciones, ya que no queremos que las impurezas metálicas se liberen durante los ciclos de alta temperatura. Así se evitan esas partículas “fantasma” que podrían dañar una oblea de silicio perfectamente buena.
Un consejo sobre su instalación:
Estas lámparas son herramientas de precisión, pero su calor concentrado es intensivo. Dado que el revestimiento de oro dirige toda esa energía en una sola dirección, hay que vigilar cuidadosamente las temperaturas del cuerpo de la lámpara. Si su sistema de refrigeración no está preparado para manejar tal cantidad de calor, podría deformarse el equipo. Se trata de un componente muy potente, así que asegúrese de que su sistema de refrigeración sea suficientemente eficaz.
¿Por qué molestarse con esta configuración?
Las lámparas baratas suelen utilizar adhesivos o metales de baja calidad. En un ambiente de vacío o ultra-limpio, esos materiales se deterioran rápidamente. Nuestros tubos recubiertos de oro eliminan por completo esos puntos débiles. Obtienes así una fuente de calor estable y limpia, que no representa ningún riesgo para tu línea de producción. Para cualquier ingeniero que no pueda permitirse ni una sola partícula de polvo en una oblea de 300 mm, esto representa una forma más simple y segura de trabajar.