Halogenlampe für das RTP System

Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800

In der Fertigungshalle ist eine Temperaturabweichung keine unbedeutende Kleinigkeit. Eine Abweichung von 5°C während des Weich- oder Hartbrennvorgangs kann dazu führen, dass die Kontrolle über die Dicke der Schichtgrenzen verloren geht. Zudem kann eine ungleichmäßige Temperaturverteilung im RTP-Prozess dazu führen, dass die Profile der Schichtgrenzen beeinträchtigt werden. Wir haben unsere Halogenlampen so konstruiert, dass diese Unregelmäßigkeiten vermieden werden.

Was wirklich wichtig ist
Diese Lampen verwenden Halogenemitter mit kurzer Wellenlänge in einem Quarzkörper – dadurch wird eine schnelle und effiziente Erwärmung erreicht. Die entscheidende Eigenschaft dieser Lampen ist die thermische Gleichmäßigkeit: ±0,1°C über die gesamte Fläche der Waferoberfläche – gemessen direkt vor Ort, nicht geschätzt. Die Kompatibilität mit Reinraumumgebungen ist ebenfalls gewährleistet: Materialien der Klasse 1–100, abgedichtete Schnittstellen sowie eine Konstruktion, die das Ausgasen minimiert. Das Ergebnis ist eine vollständige Vermeidung von Partikeln – somit wird die Produktqualität nicht durch thermische Prozesse beeinträchtigt.

System on Factory Direct Infrared Heating

Halogenlampe für das RTP System