Nikon Stepper Lampenwechsel

Thu, 04 Jun 2026 03:39:38 +0800

Auf dem Lithografie-Floor ist die Nikon-Steppermikroskoplampe nicht nur ein weiteres Verbrauchsmaterial – sie definiert die Grenze, die nicht überschritten werden darf. Wenn die Lampenleistung driftet, bleibt die Wiederholgenauigkeit der Softbake- und Hardbake-Temperaturen aus. Die Photoresist-Profile verändern sich. Die CD-Uniformität verschlechtert sich. Sie benötigen keine weitere Lampe, sondern thermische Stabilität, die um 2 Uhr nachts genauso zuverlässig ist wie um 14 Uhr.

Wesentliches unter der Haube
Wir fertigen Ersatzlampen speziell für Nikon-Steppermikroskope, die eine stabile breitbandige Leistung mit kontrolliertem Spektralinhalt liefern, sodass die Wafererwärmung konstant bleibt. Die Zieltemperaturwiederholbarkeit liegt innerhalb ±0,1°C während des gesamten Backvorgangs, wodurch das thermische Budget des Photoresists, das nicht verloren gehen darf, geschützt wird. Die Quarzhülle und die optimierte Filamentgeometrie sorgen für eine schnelle thermische Reaktion mit minimalem Überschwingen bei Sollwertänderungen. Materialien und Aufbau sind für Reinraumumgebungen ausgelegt und minimieren die Partikelbildung auf nahezu null – geeignet für Umgebungen der Klassen 1 bis 100. Die Ausgangsstabilität wird mit einer Abweichung von maximal 1 % über 2.000 Stunden angegeben, und die mechanische Form entspricht dem OEM-Anschluss, sodass die Lampe ohne Anpassungen montiert werden kann und unmittelbar einsatzbereit ist.

Schrittmotor on Factory Direct Infrared Heating

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