Ofen mit Infrarotheizer für Saalreinräume

Thu, 23 Jul 2026 11:46:16 +0800

Wie man verhindert, dass die Heizgeräte in den Reinräumen versagen
Wenn es um Öfen in Reinräumen geht, gelten die üblichen Regeln nicht. Es dürfen keine Heizelemente verwendet werden, die Gase abgeben oder kleine Partikel freisetzen – das ist einfach nicht zulässig. Wir verwenden dazu spezielle Infrarotlampen. Doch ehrlich gesagt: Die Wärmeerzeugung ist der einfachere Teil. Das eigentliche Problem liegt auf der elektrischen Seite.

Deshalb nehmen wir kein Risiko. Jeder Lampenstrang, der unser Werk verlässt, durchläuft eine strenge Prüfung hinsichtlich Spannung und Isolierung. 100 % der Lampen werden so überprüft – ohne Ausnahmen.

LPCVD Ofenheizelement

Mon, 08 Jun 2026 05:12:05 +0800

Auf dem Fertigungsboden ist der thermische Drift des Ofens nicht nur eine Zahl auf dem Display. Er zeigt sich als kritische Maßabweichungen und fehlerhafte Dotierungsprofile über den Wafer. Eine einzige fehlerhafte Hot-Zone und Sie verfolgen Ertragsverluste durch Variabilität beim Fotoresist-Backen und Films-Spannungen, die sich nie exakt gleich einstellen.

Technisch relevante Aspekte

Unser LPCVD-Ofenheizelement ist auf reproduzierbare Temperaturregelung ausgelegt, mit dem Ziel einer thermischen Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1°C über die gesamte Beladung. Das Hot-Zone-Design reduziert Gradienten und sichert das thermische Budget, auf das Ihr Prozessrezept angewiesen ist.
Quarz- und technische Keramik-Schnittstellen verhindern die Partikelbildung, sodass Sie in Reinraumklasse 1–100 ohne zusätzliches Kontaminationsrisiko arbeiten können. Schnelle Reaktionszeit und stabile Stationärwerte ermöglichen engere Back-Toleranzen im Fotoresist-Prozess – Softbake- und Hardbake-Profile bleiben konstant, Serie für Serie.

Ofen on Factory Direct Infrared Heating

Ofen mit Infrarotheizer für Saalreinräume

LPCVD Ofenheizelement

Technisch relevante Aspekte