Canon Lithographie Heizlampenbirne

Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800

Auf dem Lithografie-Floor wissen Sie, wie es läuft. Ein Softbake, das auch nur um ein halbes Grad driftet, verschiebt Ihre Belichtungsspielräume, und dann beginnt das Hardbake, Rückstände in die Linien auszuschwemmen. Sie jagen dem Fokus hinterher, justieren die Dosis – und stehen trotzdem vor Kantenausrichtungsfehlern, die direkt auf den thermischen Schritt zurückzuführen sind. Der Ofen ist stabil. Die Heizplatte ist stabil. Der Engpass ist die Lampe im Canon Lithografie-Heizmodul.

Technisch relevant Wir konstruieren die Canon Lithografie-Heizlampe um einen kurzwelligen Infrarot-(SWIR)-Halogenstrahler in einer Quarzhülle, abgestimmt auf schnelles, direktes Strahlungsheizen mit Reaktionszeiten unter einer Sekunde. Sie erhalten eine thermische Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1°C über die Backfläche und eine Temperatur-Reproduzierbarkeit, die über Tausende von Wafern hinweg konstant bleibt. Die Filamentgeometrie und der Reflektorweg sind auf den Heizraum abgestimmt, sodass der Fotolack ein reproduzierbares thermisches Budget erhält – ohne Hotspot am Rand.

Lithographie on Factory Direct Infrared Heating

Canon Lithographie Heizlampenbirne