2 5D/3D IC Kühlgehäuseheizer

Sun, 28 Jun 2026 05:49:42 +0800

Bei 2,5D/3D-Packaging-Lösungen brechen die Strukturen nicht zusammen – schließlich liegt das Problem nicht im Konzept selbst, sondern in den thermischen Effekten. Schon kleine Abweichungen im Heizprofil führen dazu, dass die Qualität der Produkte stark abnimmt. Solche Nacharbeiten kosten viele Stunden Zeit und verbrauchen zusätzlich Material. Wir haben diesen Heizer für 2,5D/3D-IC-Pakete entwickelt, um eine konstante Temperatur zu gewährleisten – Cycle für Cycle.

Das Wichtigste ist dabei die Wiederholgenauigkeit. Quarz-Halogen-Strahler sorgen für eine schnelle, kontrollierbare Reaktion sowie eine präzise Spektraldistribution. Der mit Kohlenstofffasern verstärkte Heizkörper bleibt unter thermischer Belastung stabil. So wird eine Homogenität von ±0,1°C in der aktiven Zone erreicht. Die Stabilität der Setpoint-Werte bleibt auch während des Soft-Baking, Hard-Baking sowie bei der Aushärtung der Klebstoffe gleich. Der Heizer kann 24/7 betrieben werden – in Reinräumen der Klasse 1–100 wird keine Partikelbildung festgestellt. Die Überprüfungen der Leistung erfolgen alle 5.000 Stunden. Sobald die Einstellungen festgelegt sind, bleibt der Prozesswert Cpk über 1,67.

Kompakter Infrarot Trockner für ICs

Sat, 27 Jun 2026 05:01:35 +0800

In der Fertigungshalle kann bereits eine leichte Temperaturänderung von 2°C dazu führen, dass sich das Profil des Fotoleitmittels verändert. Eine zu hohe Temperatur an den Rändern kann wiederum dazu führen, dass sich Schichten auf dem Wafer bilden. Ein kompakter Infrarottrockner für ICs ist keine Luxusausstattung – er ist vielmehr ein unverzichtbares Werkzeug für den Prozess. Wir haben diesen Trockner entwickelt, um eine konstante Temperatur im Rahmen der Lithografie- und Verpackungsprozesse zu gewährleisten – schließlich zählt in diesem Bereich jeder Wafer.

IC on Factory Direct Infrared Heating

2 5D/3D IC Kühlgehäuseheizer

Kompakter Infrarot Trockner für ICs