Wafer Trocknungslampe 300 mm

Fri, 03 Jul 2026 08:59:49 +0800

In der 300-mm-Linie ist der Trockner nicht nur praktisch – er ist vielmehr eine notwendige Komponente. Er stellt die letzte „Thermische Kontrollstelle“ dar, bevor die Wafern das Werk verlassen. Einige Grad an Ungleichmäßigkeit während des Trocknungsprozesses oder Partikel, die von einer alternden Lampe stammen, können dazu führen, dass die Lithografie-Prozesse fehlschlagen. Unsere Waftentrocknungsleuchten wurden unter Berücksichtigung eines einzigen strengen Kriteriums entwickelt: Der Wafer muss bei einer Temperatur von ±0,1°C gehalten werden – ohne dass es zu Verunreinigungen kommt.

300 Mm on Factory Direct Infrared Heating

Wafer Trocknungslampe 300 mm