http://infrared-heat-direct.com/de/tags/200-mm/ Recent content in 200 Mm on Factory Direct Infrared Heating Hugo de Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/de/posts/wafer-drying-module-200mm/ Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/de/posts/wafer-drying-module-200mm/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Wafer Trocknungsmodul 200 mm"></p> <p>Auf einer 200-mm-Linie kann bereits ein einziger feuchter Bearbeitungsschritt dazu führen, dass die Qualität der Produkte beeinträchtigt wird. Das nach der Reinigung zurückbleibende Wasser hinterlässt Spuren auf dem Photoresist. Zudem führt eine zu sanfte Trocknung dazu, dass die Kontrolle der kritischen Abmessungen nicht mehr gewährleistet ist. Man kann das Problem nicht einfach mit Anpassungen durch den Bediener beheben – es wird ein Trockenungsmodul benötigt, das stets zuverlässig funktioniert, unabhängig von den verschiedenen Produktionszyklen.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Unser Trockenungsmodul für 200-mm-Wafern basiert auf einer kontrollierten Wärmeabgabe sowie einer effektiven Kontrolle von Verunreinigungen. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche des Wafer wird bei ±0,1°C gehalten. Dadurch bleiben die Trocknungsparameter von Charge zu Charge konstant. Das System eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100 und ist so konzipiert, dass keine Partikel entstehen – was wiederum den hohen Anforderungen an die Partikelfallzahlen in der <a href="https://o-yate.com">Lithografie</a> entspricht. Bei 24/7-Betrieb soll es zu keiner <a href="https://o-yate.net">unplanm</a>äßigen Stillstand kommen; die Lebensdauer des Moduls beträgt Tausende von Stunden. Die Wiederholgenauigkeit ist selbstverständlich – sie gilt als Grundvoraussetzung.</p>