Stránky obsahující taxonomický termín “Pure” Lampa na ohřev ultračisté vody Na výrobní lince není pečení fotoresistu otázkou pouze dosažení maximální teploty. Záleží na tepelné uniformitě po celé ploše waferu. Posun o 0,5 °C... čti dále
Lampa na ohřev ultračisté vody Na výrobní lince není pečení fotoresistu otázkou pouze dosažení maximální teploty. Záleží na tepelné uniformitě po celé ploše waferu. Posun o 0,5 °C... čti dále