Modul sušení waferů 200mm
Na lince o velikosti 200 mm může jeden krok spojený s úpravami za použití vody vážně poškodit kvalitu výrobku. Voda zůstávající po čištění se...
Modul infračerveného vytápění s rozdělenými zónami
V prostředí výroby znáte pravidla: i odchylka 0,2 °C v teplotě pečení může způsobit, že profil fotorezistentu přestane splňovat požadavky a stane se...