Proč je vakuové infračervené ohřevání správným řešením pro průmysl polovodičů
Svět polovodičů usiluje o používání „bezolovnatých“ a „ekologických“ řešení. Pokud však stále spoléháte na staromódní konvekční pece, narazíte na problémy. Tyto pece spotřebovávají hodně energie – polovinu času tráví zahříváním vzduchu, který vlastně ani nemusí být horký. Navíc často do procesu vnášejí nečistoty.
Vakuově kompatibilní infračervené ohřívače tento problém řeší. Místo toho, aby využívaly vzduch jako prostředníka, používají záření k přenosu energie přímo na cíl.
Jak to vlastně funguje
Vzhledem k tomu, že ve vakuu není vzduch, který by přenášel teplo, kondukce a konvekce přestávají fungovat. Právě zde vstupuje do hry elektromagnetické záření. Infračervené lampy vysílají fotony, které pronikají přímo do substrátu a narušují strukturu molekul. Nemusíte tedy plýtvat energií na zahřívání stěn komory nebo prázdného prostoru kolem součástky. Zahříváte přímo čip. Je to rychlé – opravdu rychlé. To znamená, že ušetříte spoustu energie a vaše součástky projdou procesem mnohem rychleji.
Složitá část: Udržování čistoty
Nemůžete prostě jen tak umístit jakousi lampu do vakuové komory a doufat v to nejlepší. To je recept na katastrofu.
Používáme specializované kvartové obaly a uzávěry určené speciálně pro vakuové podmínky, aby se zabránilo úniku plynů. Pokud vaše materiály nejsou čisté, při zahřívání uniknou do komory těkavé organické sloučeniny. Ve světě polovodičů mohou i malé množství nečistot zničit celou výrobu. To nikdo nechce.
Řešení problému bezolovnatých materiálů
Přechod na bezolovnaté lepidla a spojovací materiály představuje problém – ty obvykle vyžadují vyšší teploty a přesnější kontrolu teploty.
Výhoda infračerveného ohřevu spočívá v tom, že dosahuje těch vysokých teplot okamžitě. Není potřeba čekat, až se pec ohřeje. Stačí ji zapnout a pokračovat.
Ale existuje jeden problém – musíte pečlivě řídit množství tepla. Jelikož není vzduch, který by odnémal teplo z pouzdra lampy, musí být chladiče perfektní. Pokud dojde k poruše vodního chlazení, pouzdro se okamžitě přehřeje.
Je to jediná skutečná cesta k „nulovým emisím“ při sušení. Eliminujete škodlivé chemikálie a přestanete používat ty obrovské pece, které spotřebovávají spoustu elektřiny. Je to prostě čistší a efektivnější způsob práce.