半导体洁净室推车式加热器

遏制热量流失：更有效的晶圆传输方式 如果您曾待在半导体洁净室里，就会明白其中的难题。在晶圆移动的过程中，必须不断努力保持其温度稳定，这实在是一件麻烦事。 大多数人仍然使用传统的对流式加热器，但这其实是一种效率低下的方法。我们则选择将红外线加热系统直接安装在运输车上。这样做的好处在于，不仅能确保晶圆...