300 ملی میٹر سائز کے ویفروں کی صفائی کے لئے، ڈرائر ایک ضروری آلہ ہے۔ یہ، ویفر کو باہر نکالنے سے پہلے آخری حرارتی چیک پوائنٹ ہے۔ فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران تھوڑی سی بھی غیر یکساںی، یا پرانے لیمپ سے نکلنے والے ذرات، لیتھوگرافی کے عمل کو ناکام بنا دیتے ہیں۔ ہم نے اپنے ڈرائر کو ایک اہم شرط کے مطابق تیار کیا ہے: ویفر کے سطحی درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھنا، بغیر کسی آلودگی کے۔
پس پشت کیا ہے؟
ہم مختصر-ترین طول موج والے انفراریڈ ایمیٹر استعمال کرتے ہیں، تاکہ درجہ حرارت فوری طور پر مطلوبہ سطح پر پہنچ جائے۔ 300 ملی میٹر سائز کے ویفروں کے لئے خصوصی طور پر ڈیزائن کردہ کوارٹز ونڈو اور ریفلیکٹر، ویفر کی پوری سطح پر یکساں حرارت فراہم کرتے ہیں، جس سے کناروں اور درمیانی حصے کے درمیان فرق کم ہو جاتا ہے۔ یہ سسٹم کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے، اور اس میں کلاس 1–100 کے مواد اور سیلز استعمال کئے گئے ہیں۔ یہ سسٹم بغیر کسی ذرے کے پیدا ہوئے کام کرتا ہے۔ بند-لوپ کنٹرول کی وجہ سے، ہر بار یکساں نتائج حاصل ہوتے ہیں۔
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے درجہ حرارت، حل کی صفائی، فلم پر دباؤ، اور بالآخر کریٹیکل ڈائمنشن کو کنٹرول کرنے میں اہم کردار ادا کرتے ہیں۔ یہ لیمپ، بیکنگ کے عمل کو کنٹرول کرتا ہے، جس سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور پروڈکشن کی کارکردگی بہتر ہو جاتی ہے۔ تیز ردِعمل کی وجہ سے سائیکل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور کم حرارتی استعمال سے توانائی کی بچت ہوتی ہے۔ اس طرح، ہر بار یکساں نتائج حاصل ہوتے ہیں، الارم کم ہوتے ہیں، صیانت کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور فضول مال کم ہوتا ہے۔
نصب کرتے وقت کیا تیاری کرنی ہے؟
یہ لیمپ 300 ملی میٹر سائز کے ویفروں کی صفائی کے لئے بنایا گیا ہے، لیکن نصب کرتے وقت میکانی انٹرفیس اور بجلی، کولنگ، اور ایگزاسٹ سسٹم کو مناسب طریقے سے سیٹ کرنا ضروری ہے۔ پروڈکشن کی استحکام کے لئے، صاف بجلی اور مستحکم کولنگ پانی کا درجہ حرارت ضروری ہے۔ لہذا، نصب کرتے وقت مکمل بوجھ کے تحت مختصر مدتی چیک بھی ضروری ہے۔ ایک دن کا وقت مختص کرکے، پروسیس کے مطابق اسے کیلیبریٹ کرنا ضروری ہے۔