Чому використання ультрависокочистих інфрачервоних ламп є правильним рішенням для виробництва чипів без свинцю
Під час виготовлення напівпровідників останнє, чого хочеться, – це наявність дрібних залишків, які можуть зіпсувати всю партію продукції. Це справжній кошмар. Саме тому ми використовуємо ультрависокочисті інфрачервоні лампи.
Оскільки вони не потребують хімічних розчинників чи газів для нагріву, вони просто ефективно виконують свою функцію. Вони ідеально підходять до стандартів „без свинцю“ та „екологічності“, без необхідності дотримування складних процедур.
Як саме передається тепло
Більшість людей уявляє собі конвекторні печі – коли повітря нагрівається, а потім тепло поширюється по поверхні матеріалу. Але ультрависокочисті лампи працюють інакше. Вони використовують коротковхвильове інфрачервоне випромінювання, яке безпосередньо діє на поверхню матеріалу.
Уявіть собі сонячне світло, яке потрапляє на вашу шкіру в холодний день. Повітря все ще прохолодне, але ви відразу відчуваєте тепло. Оскільки енергія передається через фотони, а не через повітря, ризик забруднення чипів значно зменшується. Крім того, процес нагріву відбувається дуже швидко. Не потрібно чекати, поки система нагріється – це дозволяє заощадити багато електроенергії.
Щодо матеріалів
Ми не використовуємо звичайне скло. Воно або виділяє гази, або просто руйнується під впливом сильного навантаження під час виробництва напівпровідників. Замість цього ми використовуємо високочистий синтетичний кварц.
Філаменти ламп також оптимізовані для ефективної роботи. Ми стежимо за тим, щоб спектральне випромінювання точно впливало на речовину, яка використовується для висушування матеріалу. Це дозволяє уникнути пошкодження чипів. Також ми додаємо спеціальні покриття для регулювання довжини хвилі. Це дозволяє теплу проникати в шар фоторезисту, не пошкоджуючи при цьому силіцієву основу. Просто потрібно переконатися, що максимальна потужність лампи відповідає хімічним властивостям матеріалу, який використовується.
На що потрібно звернути увагу
Ці лампи виробляють велику кількість тепла. Це означає, що система живлення та система охолодження будуть під значним навантаженням. Якщо система охолодження не справляється зі своїми обов’язками, лампи не прослужать так довго, як слід. Будь ласка, перевірте швидкість потоку повітря перед тим, як підключати ці лампи до системи.
Хороша новина полягає у тому, що ці лампи можна використовувати замість старих, неефективних нагрівачів. Це дозволяє уникнути використання газових систем, зберегти чистоту на поверхні та прискорити процес виробництва.