Кращий спосіб сушіння пластин сенсорів типу MEMS
Якщо ви коли-небудь мали справу з пластинами сенсорів типу MEMS, ви знаєте, які труднощі це приносить. Потрібно якомога швидше позбутися води на поверхні пластин, але не можна допустити появи слідів води чи теплових навантажень, які можуть пошкодити всю партію продукції.
Довгий час для сушіння використовувалися конвекційні печі. Але, чесно кажучи, це марна трата ресурсів – потрібно нагрівати всю камеру лише для того, щоб осушити кілька пластин. Це повільно, дорого, і це зовсім не відповідає принципам „зеленої фабрики“, до яких ми всі прагнемо сьогодні.
Саме тому ми перейшли на використання ламп з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням. Замість нагріву повітря ми безпосередньо нагріваємо поверхню пластин.
Чому фізика має значення
Ми налаштовуємо ці системи для досягнення високої щільності потужності. Мета – швидке нагрівання. Секрет у тому, що інфрачервоне випромінювання потрапляє прямо в молекули води на поверхні пластин. Воно не залишається в повітрі чи не проникає в корпус обладнання. Це ефективно та чисто. Крім того, це значно прискорює процес сушіння.
Деталі щодо обладнання
Для ламп ми використовуємо кварцеві трубки високої чистоти. У заводах з виробництва напівпровідників будь-яке забруднення є проблемою, тож ми не намагаємося ризикувати. Залежно від розміру пластин та необхідного профілю нагрівання, ми можемо налаштувати покриття ламп. Це допомагає ефективно передавати тепло в структури MEMS, не пошкоджуючи краї пластин.
Щодо електропроводки: ми використовуємо стандартні промислові з’єднувачі. Вони міцні та не відпадають під час роботи обладнання.
Порада для тих, хто планує встановити це обладнання на старе обладнання: перевірте напругу. Ці лампи споживають велику кількість електроенергії. Якщо ваш джерело живлення не витримає цього навантаження, може статися перегоряння автомата.
Компроміси
Інфрачервоне сушіння є швидким, але водночас інтенсивним. Потрібно знайти оптимальний баланс між температурою ламп та швидкістю руху пластин. Якщо конвеєр запізнюється навіть на секунду, існує ризик пошкодження делікатних сенсорних структур. Щоб уникнути втрати цілої партії продукції, рекомендується використовувати функцію контролю температури в реальному часі. Це дозволяє коригувати потужність ламп в реальному часі, що допомагає забезпечити безпеку пластин.