Neden UHP kızılötesi ısıtma yöntemi, kurşunsuz çipler için en iyi çözümdür?
Yarı iletkenler üretirken istemediğiniz şey, bir partiyi mahvedecek küçük bir kir parçasının oluşmasıdır. Bu gerçekten korkunç bir durum. İşte bu yüzden Ultra Yüksek Saflıkta (UHP) kızılötesi lambaları kullanıyoruz.
Kimyasal çözücülere veya yanma gazlarına ihtiyaç duymadıkları için doğrudan işlev görürler. Böylece “kurşunsuz” ve “yeşil” standartlara uyum sağlarlar; ekstra zahmetlere girmenize gerek kalmaz.
Isının nasıl aktığı
Çoğu insan konveksiyon fırınlarını düşünür; yani havayı ısıtarak işlemi tamamlamaya çalışır. Ancak UHP lambalar farklıdır. Kısa dalga boyundaki kızılötesi radyasyonu kullanarak yüzeye doğrudan ısı uygularlar. Soğuk bir günde güneş ışığının cildinize vurması gibi düşünün. Hava hâlâ soğuk olsa da ısıyı hemen hissedersiniz.
Enerjiyi hava yerine fotonlar aracılığıyla ilettiğimiz için waferlerin karışmasının riski çok daha azdır. Ayrıca ısınma süreci de inanılmaz derecede hızlıdır. Büyük bir termal tünelin ısınmasını beklemek zorunda kalmazsınız; bu da çok fazla elektrik tasarrufu sağlar.
Malzemelerle ilgili detaylar
Standart cam kullanmıyoruz. Standart cam ya gaz salar ya da yarı iletken üretim sürecindeki yoğun baskı altında parçalanır. Bunun yerine yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz.
Filamentler mükemmel şekilde ayarlanmıştır. Spektral çıkışın, kurutucu maddelerin tam olarak gerektiği anda etkinleşmesini sağlıyoruz; böylece waferlerin zarar görmesini engelliyoruz. Ayrıca dalga boyunu ayarlamak için özel kaplamalar da kullanıyoruz. Bu sayede ısı, silikon tabanını pişirmeden fotoresist katmanına nüfuz edebilir. Lambanın maksimum ışık yayılımının kullandığınız kimyasallara uygun olmasına dikkat etmek gerekiyor.
Dikkat edilmesi gerekenler
Bu yüksek güçlü lambalar çok fazla ısı üretir. Bu da güç kaynaklarınızın ve soğutma sistemlerinin zorlanmasına neden olur. Eğer soğutma sisteminiz yeterli değilse, lambalar beklenenden çok daha kısa sürede bozulur. Lütfen bu lambaları yüksek yoğunluklu sistemlere bağlamadan önce hava akış hızlarını mutlaka kontrol edin.
İyi haber ise, bunların eski, verimsiz ısıtıcıların yerine kullanılabilecek ideal alternatifler olmasıdır. Böylece gazla çalışan sistemlerin yol açtığı çevresel sorunlardan kaçınırsınız, zemininiz daha temiz kalır ve işlemler daha hızlı tamamlanır.