MEMS sensör yongalarını kurutmanın daha iyi bir yolu
Eğer daha önce MEMS sensör yongalarıyla uğraştıysanız, bu sürecin ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Suyun hızla giderilmesi gerekiyor; ancak su izlerinin veya termal stresin oluşmasına izin veremezsiniz.
Uzun süre boyunca en yaygın yöntem konveksiyon fırınlarıydı. Ama dürüst olmak gerekirse bu yöntem gereksizdir. Sadece birkaç wafer’ı kurutmak için tüm fırını ısıtmak zorunda kalıyorsunuz. Bu hem yavaş hem de pahalı bir yöntemdir. Ayrıca günümüzde hepimizin arzuladığı “yeşil fabrika” prensipleriyle de uyumlu değildir.
Bu yüzden kısa dalga boylu kızılötesi (IR) lambalara geçtik. Havanın ısınması yerine, doğrudan wafer yüzeyini ısıtıyoruz.
Fiziksel prensiplerin neden önemli olduğu
Bu IR sistemlerini yüksek güç yoğunluğu için tasarladık. Amacımız hızlı bir kurutma sürecidir. İşin sırrı şu: Kızılötesi ışınlar doğrudan wafer üzerindeki su moleküllerine ulaşır. Havada kalmez veya makinenin yapısına sızmaz.
Bu yöntem verimlidir ve temizdir. Ayrıca kurutma süresini de büyük ölçüde azaltır.
Lambaların detayları
Lambalar için yüksek saflıkta kuvars tüpler kullanıyoruz. Yarı iletken üretiminde her türlü kirlilik bir felaket anlamına gelir; bu yüzden burada riske girmiyoruz.
Wafer’ların boyutlarına ve ihtiyaç duyulan ısı profiline bağlı olarak, lambaların yüzey kaplamalarını ayarlayabiliyoruz. Bu sayede ısı, wafer’ın kenarlarını zarar vermeden MEMS yapılarına ulaşabiliyor.
Kablolarla ilgili bilgi: Standart endüstriyel konektörler kullanıyoruz. Bunlar dayanıklıdır ve makineler çalışırken gevşemezler.
Eski hatlarda bunları kullanacaksanız dikkat edin: Voltajınızı kontrol edin. Bu IR sistemleri çok fazla akım çeker. Eğer güç kaynağınız bu ani yük artışına hazır değilse, devre kesici devreye girer.
Avantajlar ve dezavantajlar
IR kurutma yöntemi hızlıdır, ancak çok yoğun bir ısı sağlar. Lambaların ne kadar sıcak olduğu ile wafer’ların ne kadar hızlı hareket ettiği arasında denge bulmak gerekiyor. Eğer konveyör bir saniye bile gecikirse, hassas sensör membranları zarar görebilir.
Tüm partiyi ziyan etmemek için gerçek zamanlı pirometre geri bildirimlerinden yararlanmanızı öneririz. Böylece gücü anlık olarak ayarlayabilir ve wafer’ların güvende olduğundan emin olabilirsiniz.