Почему использование Ультра-Высокочистых инфракрасных ламп является правильным решением для производства кремниевых чипов без свинца
При производстве полупроводников последнее, чего хочется, — это чтобы какая-то примесь испортила весь продукт. Это настоящий кошмар. Поэтому мы используем Ультра-Высокочистые инфракрасные лампы.
Поскольку они не требуют использования химических растворителей или газов для нагрева, они просто эффективно выполняют свою функцию. Они соответствуют стандартам «без свинца» и «экологичности», без необходимости соблюдения множества сложных правил.
Как на самом деле происходит передача тепла
Большинство людей представляют себе конвекционные печи — они нагревают воздух, надеясь на лучший результат. Но Ультра-Высокочистые лампы работают иначе: они используют кратковолновое инфракрасное излучение для непосредственного нагрева поверхности заготовки.
Можно сравнить это с солнечными лучами, падающими на кожу в холодный день: воздух все еще холодный, но вы сразу чувствуете тепло. Поскольку энергия передается через фотоны, а не через воздух, вероятность контаминации чипов минимальна. К тому же процесс нагрева происходит очень быстро. Не нужно ждать, пока нагреется весь корпус лампы, что позволяет сэкономить много электроэнергии.
О материалах
Мы не используем обычное стекло — оно либо начинает выделять газы, либо разрушается под воздействием высоких напряжений. Вместо этого мы используем высокочистый синтетический кварц.
Филаменты в лампах отрегулированы с большой точностью. Мы убеждаемся, что спектральный излучение лампы активирует средство для затвердевания ровно в нужное время, тем самым избегая повреждения чипов. Также мы добавляем специальные покрытия для настройки длины волны излучения. Это ключ к эффективной работе ламп. Благодаря этому тепло проникает в слой фоторезиста, не повреждая при этом сам кремниевый слой. Нужно только убедиться, что максимальная мощность излучения лампы соответствует химическим свойствам используемого средства.
Чего стоит избегать
Эти высокомощные лампы выдают огромное количество тепла. Это значит, что источник питания и система охлаждения будут работать под большой нагрузкой. Если система охлаждения не справляется со своей задачей, лампы не прослужат так долго, как следовало бы. Сделайте себе одолжение и проверьте скорость циркуляции воздуха перед тем, как подключать эти лампы в высокоплотную сеть.
Хорошая новость заключается в том, что эти лампы можно использовать вместо старых, неэффективных нагревательных элементов. Вы сможете избавиться от углеродного следа от газовых систем, сохранить чистоту на производственном помещении и ускорить процесс производства.