Прекратите использовать обычные нагреватели: существует более эффективный способ нагрева пластин.
Если вы когда-либо работали на производстве полупроводников, вы знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Необходимо довести температуру пластины или подложки до нужного уровня, но в то же время не хочется случайно превратить внутреннюю часть оборудования в настоящую печь.
Обычные излучающие нагреватели имеют такую проблему: они распространяют тепло повсюду. Вскоре внутренняя часть оборудования становится слишком горячей, что представляет опасность для компонентов и создает риск для тех, кто должен заходить внутрь оборудования.
Как мы решаем эту проблему
Мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Это похоже не на обычный обогреватель, который нагревает воздух, а скорее на фонарик. Благодаря специальным отражателям и фокусирующим элементам мы можем направить тепловую энергию в определенном направлении.
Цель проста: нагреть нужную поверхность, не повреждая остальную часть оборудования.
Как справиться с проблемой распространения тепла
Невозможно полностью предотвратить утечку тепла. Но его можно контролировать. Мы используем высокорефлектирующие покрытия, чтобы тепло шло только в нужном направлении.
Кроме того, такие лампы подключены к системе управления PID, поэтому процесс нагрева происходит мгновенно. Не возникает ситуации, когда весь корпус оборудования становится одним большим резистором тепла.
Реальность производства
Здесь есть один нюанс: это дело требует точности. Если лампа настроена неправильно, даже на несколько миллиметров, это может привести к проблемам. На пластине могут появиться горячие участки, или, что ещё хуже, лампа может не справиться со своей задачей.
Также необходимо правильно организовать систему охлаждения. Лампы с высокой мощностью выделяют огромное количество тепла. Если поток воздуха будет недостаточным или вентиляторы не будут работать должным образом, лампа сгорит гораздо раньше, чем следует.
Но если всё настроено правильно, это действительно помогает. Можно уменьшить количество тепла, которое накапливается внутри оборудования. Это делает оборудование безопаснее для людей, которые им пользуются, и позволяет получить точно такую температуру, которая необходима. Оборудование остается прохладным, а пластина нагревается. Все довольны.