Не позволяйте устройству для промывки работать как печь
Если вы когда-либо использовали обычные инфракрасные лампы в устройствах для промывки полупроводников, вы знаете, с чем это связано. Как только вы открываете кабинет, создается ощущение, будто вы открываете предварительно нагретую печь. Внутренние стены нагреваются настолько сильно, что могут обжечь операторов.
Это проблема. Большинство ламп излучают тепло во все стороны, тратя при этом энергию впустую и превращая оборудование в гигантский радиатор. Мы нашли более эффективный способ решения этой проблемы – использование направленного излучения инфракрасных ламп.
Куда же уходит тепло?
Обычная лампа излучает тепло во все 360 градусов. Но в устройствах для промывки важен не сам процесс нагрева, а именно обработка поверхности кристалла. Мы используем специальные отражатели и покрытия на эмиттерах, чтобы сосредоточить излучение именно на нужной точке. Таким образом, корпус оборудования остается прохладным. К тому же можно избавиться от необходимости использования мощных вентиляторов или толстых защитных экранов для предотвращения перегрева оборудования.
Проблема влаги
Устройства для промывки всегда находятся во влажной среде. Эта влага является настоящей проблемой для электроники: она разрушает соединения и приводит к трещинам в кварцевых трубках. Чтобы этого избежать, мы используем надежные водонепроницаемые уплотнения и усиленные крышки. Если даже небольшое количество пара попадает в камеру лампы, она тут же выходит из строя. Необходимо использовать уплотнения, которые смогут выдерживать постоянное воздействие влаги без повреждений.
Недостатки и способы их устранения
Есть один недостаток: когда всю энергию сосредотачивают в узком луче, плотность тепла в целевой зоне значительно возрастает. Стены остаются в безопасности, но обрабатываемый объект подвергается значительному тепловому напряжению. Нельзя просто настроить все и забыть об этом. Необходимо тщательно настраивать контроллеры PID, чтобы температура не превышала заданных значений. Если мощность лампы слишком велика, существует риск повреждения поверхности кристалла. Мой совет: используйте термопары высокой точности. Это единственный способ обеспечить стабильность процесса и сохранить целостность компонентов.