Более эффективный способ сушки пластин с датчиками MEMS
Если вы когда-либо имели дело с пластинами с датчиками MEMS, то знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Необходимо быстро избавиться от воды на поверхности пластин, но в то же время нельзя допустить появления следов от воды или тепловых напряжений, которые могут повредить пластины.
Долгое время для сушки использовались конвекционные печи. Но, честно говоря, это неэффективно – приходится нагревать всю камеру лишь для того, чтобы высушить несколько пластин. Этот процесс медленный, дорогой, и он совсем не соответствует принципам «зеленого производства», к которым мы все стремимся сегодня.
Поэтому мы перешли на использование ламп с коротковолновым инфракрасным излучением. Вместо нагрева воздуха, излучение попадает непосредственно на поверхность пластин.
Почему физика играет важную роль
Мы используем лампы с высокой плотностью мощности. Цель – быстрое нагревание пластин. Секрет заключается в том, что инфракрасное излучение попадает прямо в молекулы воды на поверхности пластин. Оно не задерживается в воздухе и не проникает в корпус оборудования. Это делает процесс сушки более эффективным и быстрым.
Детали оборудования
Для ламп мы используем кварцевые трубки высокой чистоты. На производстве полупроводников любая загрязнение является серьезной проблемой, поэтому мы не рискуем. В зависимости от размеров пластин и требуемой температуры, мы можем настраивать покрытие ламп. Это помогает теплу проникать в структуры датчиков без повреждения краев пластин.
Что касается проводки
Мы используем стандартные промышленные разъемы. Они прочные и не ослабевают при работе оборудования.
Совет при замене оборудования
Если вы собираетесь заменить старое оборудование на такое с использованием инфракрасных ламп, проверьте напряжение. Эти лампы потребляют большое количество энергии. Если ваш источник питания не может выдержать такой нагрузки, произойдет отключение питания.
Компромиссы
Инфракрасная сушка – это быстрый метод, но при этом он сопровождается высокой температурой. Необходимо найти правильный баланс между температурой ламп и скоростью движения пластин. Если конвейер задерживается хотя бы на секунду, есть риск повреждения чувствительных поверхностей датчиков. Чтобы избежать потери всей партии продукции, рекомендуется использовать систему контроля температуры в реальном времени. Это позволяет регулировать мощность ламп в процессе сушки, что обеспечивает безопасность пластин.