На производственных линиях по упаковке компонентов типа 2.5D/3D такие нагреватели не теряют своей эффективности, потому что сама концепция их использования ошибочна — они выходят из строя из-за тепловых факторов. Даже незначительные отклонения в температуре в процессе затвердевания материалов приводят к снижению качества изделий. Такая доработка требует множества часов работы и направлен на расточительство материалов. Мы разработали этот нагреватель специально для обеспечения стабильности температуры при каждом цикле производства.
Суть его работы заключается в повторяемости результатов. Кварцево-галогенные излучатели обеспечивают быструю и контролируемую реакцию, а корпус нагревателя, усиленный углеродными волокнами, сохраняет свою прочность под действием тепловых нагрузок. Благодаря этому достигается однородность температуры на всей активной зоне до ±0,1°C. Стабильность заданной температуры сохраняется во время всех этапов обработки. Нагреватель может работать круглосуточно, при этом в чистых комнатах класса 1–100 не наблюдается образования частиц. Проверки параметров работы нагревателя проводятся через 5 000 часов эксплуатации; после настройки параметров показатель Cpk остается выше 1,67.
Этот нагреватель подходит для использования на линиях по упаковке компонентов типа 2.5D/3D, поскольку он устраняет температуру как фактор, влияющий на качество продукции. Профили нагрева фоторезиста соответствуют заданным параметрам, процесс заполнения пор и затвердевания материалов происходит правильно, а деформация изделий снижается благодаря контролю теплового градиента. Это сокращает время обработки, уменьшает количество бракованных изделий, а также снижает расход энергии за единицу продукции. Установка нагревателя проста, но необходимо учитывать особенности его интерфейса. Нужно выбрать подходящий размер нагревателя для вашего оборудования, а также выделить 30 минут на полную калибровку после установки. Нагреватель работает с стандартными контроллерами на 4–28 В постоянного тока, а также с устройствами типа SMbus/RS-485. Необходимо также учитывать состав газовой среды в камере — для атмосфер, богатых кислородом, требуется специальный материал для излучателей. После калибровки оборудование будет работать стабильно.