Waarom UHP-infraroodverwijding de juiste oplossing is voor ledbestende chips
Tijdens het vervaardigen van halfgeleiders wil je natuurlijk voorkomen dat er sprake is van restanten die een hele productiebatch bederven. Dat is een nachtmerrie. Daarom maken we gebruik van Ultra High Purity (UHP)-infraroodlampen.
Omdat deze lampen geen chemische oplosmiddelen of brandgassen nodig hebben, werken ze eenvoudigweg. Ze voldoen aan de vereisten van de ‘ledbestende’ en ‘groene’ standaarden, zonder dat er veel moeite voor nodig is.
Hoe de hitte zich verspreidt
De meeste mensen denken aan convectiekosten – waarbij de lucht wordt opgewarmd. Maar UHP-lampen werken anders: ze gebruiken kortegolflengte-infraroodstraling om rechtstreeks op het substraat in te werken. Stel je voor dat het zonlicht je huid raakt op een koude dag: de lucht is nog steeds koud, maar je voelt de hitte meteen.
Omdat we energie overdragen via fotonen in plaats van door lucht te blazen, is het risico op contaminatie veel kleiner. Bovendien is de opwarmtijd enorm snel. Je hoeft niet te wachten tot een grote thermische tunnel is opgewarmd, waardoor er veel minder elektriciteit wordt verbruikt.
Materiaalkeuzes
We gebruiken geen gewone glazen materialen. Die zouden onder de hoge druk in een halfgeleiderfabriek beschadigen. In plaats daarvan gebruiken we hoogzuiver synthetisch kwarts. De filamenten zijn perfect afgesteld, zodat de golflengte precies overeenkomt met die van het middel dat wordt gebruikt voor het vervagen van het silicium.
Aandachtspunten
Deze lampen genereren enorm veel hitte. Dat betekent dat je stroomvoorziening en koelsystemen flink onder druk komen te staan. Als de koeling niet goed genoeg is, zullen de lampen niet zo lang meegaan als verwacht. Controleer dus goed de luchtcirculatie voordat je deze lampen in een hoge dichtheid installeert.
Het goede nieuws? Deze lampen kunnen gemakkelijk worden gebruikt in plaats van de oude, minder efficiënte verwarmingselementen. Hierdoor kun je de ecologische voetafdruk verminderen, de vloer schoonhouden en de productietijden verkorten.