Laat een kapotte lamp je oogst niet verpesten
Wanneer je op een schone werkplek met hoge productieniveaus werkt, is het een nachtmerrie als een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om het vervangen van de lamp en weer verder werken.
Als een kwartsbuis barst, vallen er scherven glas en halogengas recht op je wafers terecht. Dat is een enorme ramp. Je verliest dan niet alleen één onderdeel, maar ook al je productie resultaten door secundaire contaminatie.
Waarom gaan deze buizen kapot?
Meestal komt het door thermische schokken of een slechte spanningsterkte. Er wordt veel druk uitgeoefend op het glas.
We lossen dit op door gebruik te maken van hoogzuiver gefusoeneerd kwarts. Hierdoor stijgt het smeltpunt van het glas, zodat de buis bestand is tegen de snelle spanningsschommelingen zonder dat deze breekt.
Het voorkomen van schade
Het doel is simpel: de deeltjes uit de buurt van het substraat houden. We doen dit door de IR-elementen in een hittebestendige kwartsmantel of beschermende laag te wikkelen. Denk hierbij aan een soort ‘veiligheidsnet’. Als het binnenste element kapotgaat, houdt de mantel de scherven tegen. Dit bespaart je veel moeite wanneer je probeert het glaspoeder van een 300mm grote wafer te verwijderen.
We letten ook goed op de connectoren. Losse verbindingen kunnen leiden tot oververhitting en kortsluiting. We zorgen ervoor dat alle verbindingen stevig zijn, zodat je 24/7 kunt blijven werken zonder zorgen over elektrische defecten.
De realiteit van compromissen
Iedereen wil natuurlijk een hoge warmtedichtheid, maar dat heeft zijn prijs. Wanneer je te veel wattage in een kleine ruimte stoppt, stijgt de interne druk van het halogengas. Hierdoor is het belangrijk dat de koelingsopties goed werken. Als de ventilatoren de hitte niet weg kunnen halen, zullen de verbindingen kapotgaan – ongeacht hoe goed de buis zelf is.
En nog een tip: houd de spanning stabiel. Schommelingen in de spanning zorgen er namelijk voor dat het filament sneller versleten raakt, waardoor de levensduur van de lamp verkort wordt. Als het elektriciteitsnet in je fabriek onstabiel is, gebruik dan een aparte stabilisator. Dit bespaart je op de lange termijn veel problemen.