Cara yang Lebih Baik untuk Mengeringkan Wafer Sensor MEMS
Jika Anda pernah berurusan dengan wafer sensor MEMS, Anda pasti tahu betapa sulitnya proses ini. Anda perlu menghilangkan air dari permukaan wafer secepat mungkin—tapi Anda tidak boleh membiarkan adanya noda akibat air atau tekanan termal yang bisa merusak wafer tersebut.
Selama ini, metode yang digunakan adalah oven konveksi. Tapi sejujurnya, metode ini sangat tidak efisien. Anda harus memanaskan seluruh ruang oven hanya untuk mengeringkan beberapa wafer saja. Prosesnya lambat, biayanya mahal, dan tentu saja tidak sesuai dengan tujuan “pabrik hijau” yang kita inginkan saat ini.
Itulah sebabnya kami beralih ke lampu inframerah berfrekuensi tinggi. Alih-alih memanaskan udara, cahaya inframerah langsung menyentuh permukaan wafer.
Mengapa Fisika Sangat Penting
Kami menggunakan sistem inframerah dengan densitas daya yang tinggi. Tujuannya adalah agar proses pengeringan berlangsung lebih cepat. Keuntungan lainnya adalah cahaya inframerah langsung menembus molekul air di permukaan wafer, sehingga tidak ada sisa panas yang tertinggal di udara atau di bagian mesin.
Detil Teknisnya
Kami menggunakan tabung kuarsa berkualitas tinggi untuk lampu tersebut. Di pabrik semikonduktor, segala bentuk kontaminasi merupakan masalah besar, jadi kami tidak mau mengambil risiko apa pun.
Tergantung pada ukuran wafer dan profil suhu yang dibutuhkan, kami dapat menyesuaikan lapisan pelindung pada lampu tersebut. Hal ini membantu agar panas dapat masuk ke struktur MEMS tanpa merusak tepi wafer.
Hal-Hal Penting Terkait Kabel
Kami menggunakan koneksi industri standar untuk kabel-kabel tersebut. Koneksi ini kokoh dan tidak akan longgar meskipun mesin beroperasi.
Peringatan jika Mengganti Lampu di Pabrik Lama
Pastikan tegangan listriknya cukup. Lampu inframerah membutuhkan arus listrik yang besar. Jika sumber daya listriknya tidak cukup, maka breaker akan trip.
Kompromi yang Harus Diterima
Metode pengeringan menggunakan inframerah memang cepat, tetapi panasnya sangat intens. Anda perlu mencari keseimbangan antara suhu lampu dan kecepatan pergerakan wafer. Jika konveyor berhenti sebentar saja, wafer bisa rusak.
Untuk menghindari kerusakan wafer, kami merekomendasikan penggunaan alat pengukur suhu secara real-time. Dengan demikian, Anda dapat memodulasi daya lampu sesuai kebutuhan, sehingga Anda bisa lebih tenang karena yakin bahwa wafer tetap aman.