लीड-फ्री चिप्स के निर्माण हेतु यूएचपी इन्फ्रारेड तकनीक क्यों उपयुक्त है?
जब सेमीकंडक्टरों का निर्माण किया जाता है, तो सबसे बड़ी समस्या यह होती है कि कोई अवांछित कण/अवशेष पूरी बैच को नष्ट कर दे। यह वाकई एक बड़ी समस्या है। इसीलिए हम अल्ट्रा हाई प्यूरिटी (UHP) इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं।
चूँकि इन लैंपों में रासायनिक घोल या दहन गैसों की आवश्यकता नहीं होती, इसलिए ये बिना किसी परेशानी के काम करते हैं। ऐसे लैंप “लीड-फ्री” एवं “ग्रीन” मानकों के अनुरूप हैं।
ऊष्मा कैसे पहुँचती है?
अधिकांश लोग कंवेक्शन ओवनों के बारे में ही सोचते हैं… यानी हवा को गर्म करके ऊष्मा पहुँचाना। लेकिन UHP लैंप अलग हैं… ये शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड विकिरण का उपयोग करके सीधे सब्सट्रेट पर ऊष्मा पहुँचाते हैं।
इसे ठंडे दिन में सूर्य की रोशनी के समान ही समझ सकते हैं… हवा तो ठंडी ही रहती है, लेकिन आपको तुरंत ही गर्मी महसूस होती है।
चूँकि ऊर्जा फोटॉनों के माध्यम से ही पहुँचती है, इसलिए वेफरों में संदूषण होने का खतरा बहुत कम होता है। साथ ही, ऊष्मा पहुँचने में भी बहुत कम समय लगता है… इससे बहुत बचत होती है।
सामग्री संबंधी जानकारी
हम सामान्य काँच का उपयोग नहीं करते… क्योंकि सेमीकंडक्टर निर्माण के दौरान ऐसे काँच टूट जाते हैं। इसके बजाय हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं।
फिलामेंटों की गुणवत्ता भी बेहतरीन होती है… हम यह सुनिश्चित करते हैं कि स्पेक्ट्रल आउटपुट ठीक समय पर ही ऊष्मा प्रदान करे… ताकि वेफरों को कोई नुकसान न पहुँचे।
हम वेवलेंथ को नियंत्रित करने हेतु विशेष कोटिंग भी लगाते हैं… यही इन लैंपों की विशेषता है। इससे ऊष्मा फोटोरेसिस्ट पर्त में ही पहुँचती है… सिलिकॉन बेस को कोई नुकसान नहीं पहुँचता। आपको बस यह सुनिश्चित करना है कि लैंप का उत्सर्जन स्तर आपके उपयोग की रासायनिक प्रक्रियाओं के अनुरूप हो।
कुछ ध्यान देने योग्य बातें
ये उच्च-वॉटेज वाले लैंप बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न करते हैं… इसलिए आपके पावर सप्लाई एवं कूलिंग सिस्टम पर भार पड़ेगा। यदि कूलिंग सिस्टम पर्याप्त न हो, तो लैंप लंबे समय तक काम नहीं कर पाएंगे। इसलिए, इन लैंपों को उपयोग में लाने से पहले अवश्य ही एयरफ्लो रेट की जाँच कर लें।
अच्छी बात यह है कि ये लैंप, पुराने, भारी हीटिंग तत्वों का विकल्प हैं… इससे गैस-चालित सिस्टमों का उपयोग बंद हो जाता है… फर्श भी साफ रहती है… एवं कार्य भी तेजी से पूरा हो जाता है।