בקו הייצור של 300 ממ, מכשיר הייבוש אינו רק דבר שנעים להחזיק בו – הוא למעשה השלב האחרון של תהליך החימום לפני שהשבב יוצא מהמפעל. שינוי של מספר מעלות בטמפרטורה במהלך תהליך החימום, או פגם בנורה, עלולים לגרום לכך שהתהליך יהיה לא יציב. עיצבנו את מכשיר הייבוש כך שיעמוד בדרישה הקפדנית של שמירה על טמפרטורה של ±0.1°C, ללא כל סוג של זיהום.
מה חשוב בתהליך העבודה אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעל גלי אור קצרים, שמאפשר חימום מהיר וממוקד. כך, הטמפרטורה מגיעה מיד לערך הרצוי, ללא עיכובים. חלון הקוורץ המותאם לגודל 300 ממ, יחד עם הגאומטריה של המחזירים, מאפשרים חימום אחיד של כל שטח השבב, ובכך מונעים שינויים בטמפרטורה בין הקצוות למרכז השבב. המערכת מתאימה לשימוש בחדרים נקיים, עם חומרים וחסמים מסוג Class 1–100. המערכת מיועדת לפעול ללא יצירת חלקיקים. שליטה במעגל סגור מבטיחה תוצאות עקביות, כך שאותה טמפרטורה תיושם על כל שבב, בכל משמרת.
למה זה חשוב בתהליך עיבוד הפוטורזיסט טמפרטורות החימום משפיעות ישירות על הסרת הממסים, על מתח הזכוכית ועל שליטה בממדים החשובים של השבב. מכשיר זה מאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה, מה שמפחית את הצורך בעיבוד חוזר ומשפר את איכות השבבים. התגובה המהירה של המכשיר מקצרת את זמן העיבוד, והמסה התרמית הנמוכה מפחיתה את צריכת האנרגיה. כך ניתן לקבל תוצאות עקביות, עם פחות אזעקות, פחות תחזוקה ופחות שבבים פגומים.
מה צריך לקחת בחשבון בעת ההתקנה מכשיר זה מיועד לעבודה עם שבבים בגודל 300 ממ ולשילוב בחדרים נקיים. אך החיבורים המכניים ומערכות האנרגיה, הקירור והפליטה חייבים להיות מותאמים כראוי בעת ההתקנה. יציבות המערכת תלויה באנרגיה נקייה ובטמפרטורה יציבה של מים לקירור. לכן, יש לבצע בדיקות קצרות בעת ההתקנה. יש להקצות יום אחד להתקנה, ולאחר מכן לבצע בדיקות כדי לוודא שהמערכת עובדת כראוי.