למה טיפול באמצעות אור אינפרא-אדום ברמת טוהר גבוהה הוא הפתרון הטוב ביותר לשימוש בשבבים ללא עופרת
כאשר מייצרים שבבים, הדבר האחרון שרוצים הוא שכתם זעיר של שאריות יקלקל את כל המוצר. זו באמת בעיה חמורה. לכן אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום ברמת טוהר גבוהה.
מכיוון שהן אינן תלויות בחומרים כימיים או בגזי בעירה, הן פשוט עובדות. הן עומדות בתקנים של שבבים ללא עופרת ושל שימוש בטכנולוגיות “ירוקות”, בלי שצריך לעבור הרבה תהליכים מסובכים.
כיצד החום מועבר בפועל
רוב האנשים חושבים על אופני חימום רגילים – חימום האוויר וקיווי שהכל יעבוד כמו שצריך. אך נורות UHP שונות. הן משתמשות בקרינת אינפרא-אדום בגלי אורך קצרים, כדי לחמם את החומר ישירות.
ניתן להשוות זאת לאור השמש שפוגע בעור ביום קר – האוויר עדיין קר, אך אנו מרגישים את החום מיד.
מכיוון שאנו מעבירים אנרגיה באמצעות פוטונים ולא באמצעות אוויר, יש סיכוי קטן בהרבה לזיהום של השבבים. בנוסף, זמן החימום מהיר מאוד. אין צורך לחכות שהחום יגיע לרמה הרצויה, מה שמצמצם את צריכת החשמל.
פרטים על החומרים
אנו לא משתמשים בזכוכית רגילה – היא עלולה להישבר תחת הלחץ הגבוה שנוצר בתהליך הייצור. במקום זאת, אנו משתמשים בקוורץ סינתטי ברמת טוהר גבוהה.
הפילמנטים של הנורות מותאמים בצורה מושלמת. אנו דואגים שהקרינה שנוצרת תגרום לחומרים המשמשים לטיפול בשבבים לפעול בדיוק בזמן הנכון, כך שהשבבים לא יינזקו.
אנו גם מוסיפים ציפויים מיוחדים כדי לשלוט באורך הגל של הקרינה. זו הדרך לאפשר לחום לחדור לשכבת הפוטורזיסט, מבלי לפגוע בבסיס הסיליקון. יש צורך רק לוודא שגל הקרינה של הנורה תואם את החומרים שאנו משתמשים בהם.
דברים שצריך לשים לב אליהם
נורות אלו פולטות כמות עצומה של חום. זה אומר שמערכות האספקת החשמל ומערכות הקירור יימצאו תחת לחץ רב. אם מערכות הקירור אינן יעילות, הנורות לא יחזיקו מעמד זמן רב. עדיף לבדוק את קצב זרימת האוויר לפני שמחברים את הנורות למערכת.
החדשות הטובות? נורות אלו יכולות להחליף את הנורות הישנות והלא יעילות. כך ניתן להימנע מההשפעות השליליות של מערכות חימום על בסיס גז, לשמור על סביבה נקייה, ולהגדיל את מהירות הייצור.