دیگر نیازی نیست تجهیزات خود را گرم کنید؛ روش بهتری برای گرم کردن ویفرها وجود دارد.
اگر تا به حال در کارخانههای تولید نیمههادی کار کردهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. باید ویفر یا سطح مورد نظر را به دمای مناسب برسانید، اما نمیخواهید که قسمتهای داخلی ماشین به یک فر تبدیل شود.
گرمکنهای معمولی برای این منظور بسیار نامناسب هستند؛ زیرا گرما را به همه جا پخش میکنند. در نتیجه، قسمتهای داخلی ماشین داغ میشوند؛ این موضوع برای قطعات الکترونیکی خطرناک است و برای کسانی که مجبورند وارد ماشین شوند، نیز خطرات جدی ایجاد میکند.
چگونه این مشکل را حل میکنیم؟
ما از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم. این لامپها بیشتر شبیه چراغهای قوی هستند؛ یعنی گرما را در یک جهت خاص هدایت میکنند. با استفاده از منعکسکنندههای ویژه و پوششهای کوارتزی، میتوانیم انرژی حرارتی را در یک پرتو متمرکز هدایت کنیم.
هدف ساده است: گرما را دقیقاً به هدف مورد نظر برسانیم، و بقیه بخشهای ماشین را تحت تأثیر قرار ندهیم.
چگونه با مشکل انتشار گرما برخورد کنیم؟
نمیتوانیم جلوی انتشار کامل گرما را بگیریم؛ اما میتوانیم آن را کنترل کنیم. ما از پوششهای با بازتاب بالا برای جلوگیری از انتشار گرما استفاده میکنیم.
همچنین، از سیستم کنترل PID برای کنترل دما استفاده میکنیم؛ در نتیجه، افزایش دما تقریباً فوری اتفاق میافتد. دیگر نیازی نیست صبر کنیم تا کل بدنه ماشین داغ شود؛ این روش بسیار مؤثر است.
واقعیت کار در کارخانهها
مشکل اینجاست که این کار نیاز به دقت زیادی دارد. اگر لامپ چند میلیمتر از هدف فاصله داشته باشد، مشکلاتی پیش خواهد آمد؛ یا ویفر دارای نقاط داغ خواهد شد، یا اصلاً به هدف نخواهد رسید.
همچنین، باید در زمینه خنککردن ماشین نیز دقت کنیم؛ زیرا لامپهای مادون قرمز مقدار زیادی گرما تولید میکنند. اگر جریان هوا مناسب نباشد، لامپ زودتر از حد معمول خراب خواهد شد.
اما وقتی که همه چیز درست انجام شود، اوضاع بهتر خواهد شد؛ میتوانیم لایههای حرارتی زائد را از روی دیوارههای داخلی ماشین برداریم. این کار باعث میشود که ماشین برای افرادی که از آن استفاده میکنند، ایمنتر شود؛ همچنین، گرما دقیقاً در جای مناسب خود قرار خواهد گرفت.
ماشین خنک باقی میماند؛ ویفر گرم میشود؛ همه خوشحال میشوند.