In der 300-mm-Linie ist der Trockner nicht nur praktisch – er ist vielmehr eine notwendige Komponente. Er stellt die letzte „Thermische Kontrollstelle“ dar, bevor die Wafern das Werk verlassen. Einige Grad an Ungleichmäßigkeit während des Trocknungsprozesses oder Partikel, die von einer alternden Lampe stammen, können dazu führen, dass die Lithografie-Prozesse fehlschlagen. Unsere Waftentrocknungsleuchten wurden unter Berücksichtigung eines einzigen strengen Kriteriums entwickelt: Der Wafer muss bei einer Temperatur von ±0,1°C gehalten werden – ohne dass es zu Verunreinigungen kommt.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden einen Kurzwellen-Infrarotstrahler, der für eine schnelle, gezielte Erwärmung sorgt. Dadurch erreicht die Temperatur sofort den gewünschten Wert – ohne Verzögerung. Das für 300-mm-Wafer optimierte Quarzfenster sowie die Reflektorgeometrie sorgen für eine gleichmäßige Verteilung der Wärme über die gesamte Wafltoberfläche. Dadurch wird die Unterschiede zwischen Rand und Mitte der Wafer minimiert. Das System ist außerdem für Reinräume geeignet – es verwendet Materialien und Dichtungen der Klasse 1–100. Zudem wird das System so konstruiert, dass keine Partikel entstehen. Die Schließschleife sorgt dafür, dass die Ergebnisse immer konstant bleiben – somit erhalten alle Wafer denselben thermischen Zustand, Schicht für Schicht.
Warum das im Photoresist-Verarbeitungsprozess wichtig ist
Die Temperaturen beim Weichen und Trocknen des Photoresists beeinflussen direkt die Entfernung der Lösungsmittel sowie den Druck auf die Schicht. Dadurch kann die Kontrolle der kritischen Abmessungen verbessert werden. Die Leuchte sorgt dafür, dass das Trocknungsprofil genau eingehalten wird – dadurch werden weniger Nacharbeiten notwendig. Die schnelle Reaktionszeit verkürzt die Prozesszeit, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Zudem hilft die geringe thermische Masse dabei, den Energieverbrauch zu senken. So erhält man konstante Ergebnisse bei derselben Einstellung – mit weniger Alarmen, weniger Wartungsaufwand und weniger Ausschuss.
Was man bei der Installation berücksichtigen muss
Diese Leuchte ist für die Verarbeitung von 300-mm-Wafern sowie für die Integration in Standard-Reinräume konzipiert. Doch die mechanischen Anschlüsse sowie die notwendigen Infrastrukturelemente wie Stromversorgung, Kühlung und Abführung von Abgasen müssen bei der Installation richtig angeordnet werden. Die Stabilität der Leistung hängt von sauberem Strom sowie einer konstanten Kühlwassertemperatur ab. Deshalb sollte die Inbetriebnahme mit einer kurzfristigen Überprüfung unter voller Last erfolgen. Planen Sie daher einen einwöchigen Zeitraum zur Integration ein – danach kann die Leuchte einmal nach Ihren Prozessvorgaben kalibriert werden.