Bei 2,5D/3D-Packaging-Lösungen brechen die Strukturen nicht zusammen – schließlich liegt das Problem nicht im Konzept selbst, sondern in den thermischen Effekten. Schon kleine Abweichungen im Heizprofil führen dazu, dass die Qualität der Produkte stark abnimmt. Solche Nacharbeiten kosten viele Stunden Zeit und verbrauchen zusätzlich Material. Wir haben diesen Heizer für 2,5D/3D-IC-Pakete entwickelt, um eine konstante Temperatur zu gewährleisten – Cycle für Cycle.
Das Wichtigste ist dabei die Wiederholgenauigkeit. Quarz-Halogen-Strahler sorgen für eine schnelle, kontrollierbare Reaktion sowie eine präzise Spektraldistribution. Der mit Kohlenstofffasern verstärkte Heizkörper bleibt unter thermischer Belastung stabil. So wird eine Homogenität von ±0,1°C in der aktiven Zone erreicht. Die Stabilität der Setpoint-Werte bleibt auch während des Soft-Baking, Hard-Baking sowie bei der Aushärtung der Klebstoffe gleich. Der Heizer kann 24/7 betrieben werden – in Reinräumen der Klasse 1–100 wird keine Partikelbildung festgestellt. Die Überprüfungen der Leistung erfolgen alle 5.000 Stunden. Sobald die Einstellungen festgelegt sind, bleibt der Prozesswert Cpk über 1,67.
Der Heizer eignet sich hervorragend für 2,5D/3D-Packaging-Linien – schließlich macht er die Temperatur zu einer unbedeutenden Variablen. Die Parameter der Photoresist-Aushärtung bleiben innerhalb der Spezifikationen. Die Füllung der TSVs sowie die Aushärtung des Unterfüllmaterials erfolgen korrekt. Zudem wird durch die Kontrolle des thermischen Gradienten die Verformung verringert. Dadurch werden die Qualifizierungszyklen kürzer, die Menge an Ausschussprodukten reduziert sich, und der Energieverbrauch pro Einheit sinkt dank der effizienten Heizweise.
Die Installation ist einfach – doch man muss auf die Schnittstellen achten. Passt die Größe des Heizers zu Ihrem Chuck sowie den Werkzeugen. Planen Sie außerdem 30 Minuten Zeit für eine vollständige Thermokalibrierung nach der Montage ein. Der Heizer funktioniert mit Standard-4–28 VDC-Controllern sowie SMbus/RS-485-Schnittstellen. Stellen Sie sicher, dass die Gaszusammensetzung in der Kammer geeignet ist – für Sauerstoffreiche Atmosphären ist ein bestimmtes Material für die Strahler notwendig. Kalibrieren Sie das Gerät – dann bleibt der Prozess unter Kontrolle.