V prostředí výroby může mírné zahřátí o 2 °C změnit profil fotorezisty. Nadměrné zahřátí na okrajích může způsobit vznik nežádoucích usazenin. Kompaktní infračervený sušič pro integrované obvody není jen výhodným doplňkem – je to základní součást procesu. Tuto jednotku jsme navrhli tak, aby zajistila tepelnou reprodukovatelnost v procesech litografie a balení, protože v tomto oboru je každý čip důležitý.
Co je důležité uvnitř Používáme emitory v oblasti blízkého infračerveného záření, které umožňují rychlé zahřátí s nízkou tepelnou inertností. Jednotnost teploty na celém povrchu čipu zůstává v rozmezí ±0,1 °C, zatímco reprodukovatelnost nastavené teploty je ±0,5 °C. Díky tomu zůstávají profily zahřívání fotorezistu stabilní mezi jednotlivými sériemi výroby. Sušič je vhodný do čistých místností třídy 1–100, má systém kontroly částic ve vzduchu a materiály bez emise částic. Je určen k nepřetržitému provozu – doba mezi selháními přesahuje 20 000 hodin a neexistují žádné neočekávané přerušení v provozu. Rozměry sušiče jsou 300 mm × 200 mm × 150 mm, napájení probíhá na 24 VDC nebo 48 VDC, s standardními konektory pro snadné zapojení do stávajících zařízení.
Proč to funguje v praxi Potřebujete teplo, které reaguje rychle, aniž by došlo k nadměrnému zahřátí. Emitory v oblasti blízkého infračerveného záření umožňují rychlé zahřátí s přesnou kontrolou, takže se zkracuje doba zahřívání a zvyšuje se rychlost výroby. Spotřeba energie klesá, protože emitory působí přímo na čip a substrát, nikoliv na stěny komory. Při zpracování fotorezistu to znamená lepší kontrolu kritických rozměrů a méně nutnosti oprav. Při balení sušič odstraní nadbytečnou kapalinu a vlhkost, aniž by došlo ke zkreslení čipu. Kompatibilita s čistými místnostmi pomáhá udržet nízký počet částic – což je právě to, co vyžadují moderní technologie.
Několik praktických poznámek Sušič potřebuje stabilní, filtrovaný zdroj napájení a čistý, suchý vzduch pro správné fungování. Čas ohřevu je krátký, ale zahřívání by mělo začít až po 10 minutách stabilizace. Sušič je sice kompaktní, ale kolem oblasti emitorů je potřeba dostatek prostoru pro bezpečnostní prvky a odvádění výfukových plynů. Spektrum emitorů by mělo odpovídat vašemu fotorezistu a substrátu – náš tým vám může pomoci nastavit optimální parametry pro váš proces.