৩০০ মিমি লাইনে, ড্রায়ারটি কোনো ঐচ্ছিক সুবিধা নয়। এটা হলো ওয়েফারগুলো বাইরে বের হওয়ার আগের শেষ থার্মাল চেকপয়েন্ট। ফটোরেজিস্ট বেক করার সময় যদি তাপমাত্রায় কিছুটা অসমতা থাকে, অথবা পুরানো ল্যাম্প থেকে কোনো কণা বের হয়, তাহলে পুনরাবৃত্তিযোগ্য লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াটি ব্যর্থ হয়ে যায়। আমরা আমাদের ওয়েফার ড্রায়িং ল্যাম্পটি একটি কঠোর শর্তের ভিত্তিতে তৈরি করেছি—ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±০.১°C এর মধ্যে রাখা, যাতে কোনো ধরনের দূষণ না ঘটে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত ও স্থানীয়ভাবে তাপ সরবরাহ করার জন্য শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি; ফলে তাপমাত্রা নির্ধারিত মাত্রায় দ্রুত পৌঁছায়। ৩০০ মিমি-অপটিমাইজড কোয়ার্টজ উইন্ডো ও রিফ্লেক্টরগুলো ওয়েফারের সারা অংশে সমান তাপ সরবরাহ করে; ফলে CD ভেরিয়েশন কমে যায়। এই সিস্টেমটি ক্লিনরুম-সংগত; এতে ক্লাস ১–১০০ মানের উপকরণ ও সিল ব্যবহৃত হয়। এটা কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না করেই কাজ করে। ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণের ফলে আউটপুটটি পুনরাবৃত্তিযোগ্য হয়; ফলে প্রতিটি ওয়েফারে একই তাপমাত্রা বজায় থাকে।
ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় এর ভূমিকা কী?
“সফট বেক” ও “হার্ড বেক” তাপমাত্রাগুলো সরাসরি সলভেন্ট অপসারণ, ফিল্মের টেনশন এবং ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণকে প্রভাবিত করে। এই ল্যাম্পটি বেকিং প্রক্রিয়াটিকে নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে পুনরাবৃত্তিমূলক কাজ কমে যায় এবং উৎপাদন বাড়ে। দ্রুত প্রতিক্রিয়ার ফলে সাইকেল টাইম কমে যায়; আর কম তাপীয় শক্তি ব্যবহার হয়। একই নির্ধারিত মাত্রায় ধারাবাহিক ফলাফল পাওয়া যায়; অ্যালার্ম কম হয়, রক্ষণাবেক্ষণ কম হয়, আর বর্জ্যও কম হয়।
ইনস্টলেশনের সময় কী বিবেচনা করা উচিত?
এই ল্যাম্পটি ৩০০ মিমি ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং স্ট্যান্ডার্ড ক্লিনরুম ইন্টিগ্রেশনের জন্য তৈরি করা হয়েছে; কিন্তু ইনস্টলেশনের সময় মেকানিক্যাল ইন্টারফেস ও পাওয়ার, কুলিং, এক্সহস্ট সংক্রান্ত ব্যবস্থাগুলো ঠিকভাবে সামঞ্জস্য করতে হবে। আউটপুটের স্থিতিশীলতা নির্ভর করে পরিষ্কার বিদ্যুৎ ও স্থিতিশীল কুলিং ওয়াটার তাপমাত্রার উপর; তাই কমিশনিংয়ের সময় পূর্ণ লোডে স্বল্পমেয়াদী চেক করা উচিত। একদিনের সময় বরাদ্দ করে প্রক্রিয়াটি ক্যালিব্রেট করুন।